市场监管总局近日批准新建二维线纹基准装置，填补我国校准影像测量仪、光学显微镜等光学精密测量设备和高精度光刻机母版制造设备的二维线纹标准器的测量能力空白，核心技术实现完全自主可控。 二维线纹基准装置测量范围为320mm×320mm，最优测量